熱破壞法分為直接燃燒法、催化燃燒法和濃縮燃燒法。其破壞機理是氧化、熱裂解和熱分解，從而達到治理VOCs的目的。

　　熱破壞法適合小風量，高濃度的氣體處理，對于連續排放氣體的場合,使用設備簡單，投資少，操作方便，占地面積少，另外可以回收利用熱能，氣體凈化徹底。

　　由于熱破壞法是催化燃燒，所以要求的起燃溫度低，大部分有機物和 CO 在 200～400 ℃即可完成反應，故輔助燃料消耗少，而且大量地減少了氮化物的產生，適用于較多場合。

　　但熱破壞法有燃燒爆炸危險，熱力燃燒需消耗燃料，不能回收溶劑。

　　而熱催化氧化法中不允許廢氣中含有影響催化劑壽命和處理效率的塵粒和霧滴，也不允許有使催化劑中毒的物質，以防催化劑中毒，因此采用催化燃燒技術處理有機廢氣必須對廢氣作前處理。